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靶材的制作方法
時間:2019-01-17 11:40:04 作者:admin
目前靶材的制備主要有鑄造法和粉末冶金法。
鑄造法:
將一定成分配比的合金原料熔煉,再將合金溶液澆注于模具中,形成鑄錠,最后經(jīng)機械加工制成靶材,鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等,其優(yōu)點是靶材雜質(zhì)含量(特別是氣體雜質(zhì)含量)低,密度高,可大型化;缺點是對熔點和密度相差較大的兩種或兩種以上金屬,普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材。
粉末冶金法:
將一定成分配比的合金原料熔煉,澆注成鑄錠后再粉碎,將粉碎形成的粉末經(jīng)等靜壓成形,再高溫燒結(jié),最終形成靶材,其優(yōu)點是靶材成分均勻;缺點是密度低,雜質(zhì)含量高等,常用的粉末冶金工藝包括冷壓、真空熱壓和熱等靜壓等。
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